本文采用喷雾热解技术合成了不同体积百分比的铁掺杂TiO2薄膜。并利用X射线衍射（XRD）数据研究了Fe掺杂对晶体尺寸、织构系数、微应变、位错密度等结构性能的影响。XRD数据显示，当Fe的体积百分比提高到2 vol%时，样品显示出多晶锐钛矿型TiO2相，而当样品中Fe的体积百分比达到4 vol%时，则在TiO2样品中观察到了混合锐钛矿型和金红石型晶相。同时，晶格尺寸随着铁掺杂百分比的升高而减小，其他结构参数也会随铁掺杂百分比的改变发生变化。在本工作中，还观察到电阻随着Fe掺杂体积百分比的增加和样品温度的升高而降低的现象。同时，电阻温度系数和活化能等热性能也与Fe掺杂体积百分比密切相关。此外，样品的湿敏特性也随Fe掺杂浓度的变化而变化。在本文中，我们报道了Fe掺杂百分比为2 vol%的TiO2样品可以达到88.7%的最大湿敏度，该样品的最低响应时间和恢复时间分别约为52 s和3 s。

Humidity sensing properties of spray deposited Fe doped TiO2?thin film

Dipak L Gapale, Pranav P. Bardapurkar, Sandeep A. Arote, Sanjaykumar Dalvi, Prashant Baviskar,Ratan Y Borse

J. Semicond. 2021, 42(12): 122805

doi:?10.1088/1674-4926/42/12/122805

Full Text: http://www.jos.ac.cn/article/doi/10.1088/1674-4926/42/12/122805?pageType=en

来源：第12期半导体学报中文导读