高性能光束分离器对于开发先进硅光子集成电路是至关重要的。然而，由于绝缘体上硅平台的高折射率差，纳米光子分光器受到带宽，偏振依赖性和对制造误差敏感性几方面的阻碍。本文提出了一种新策略，利用开槽波导中的模态来克服这些限制，使超宽带偏振不敏感光功率分配器允许具有宽松的制造误差。所提出的分离器设计依赖于单模槽隙波导，其通过对称锥形逐渐变换为两个带状波导，从而产生相等的功率分配。基于这一概念，本文通过实验实现了-3±0.5 dB偏振不相关传输，即使存在波长宽度偏差至±25 nm，也能实现390 nm的超长带宽（1260-1650 nm）。

分束器的扫描电子显微镜图像

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（来源：中国光学期刊网）