在中国科学院和广东省共同支持下，由中科院半导体研究所负责研制开发的48片MOCVD首台样机取得重大进展。样机不仅经过了真空、压力、温度、旋转、自动传输等一系列设备性能指标实验考核，同时进行了氮化镓以及氮化物LED的外延工艺考核，所外延的氮化物材料，分别由山东华光、杭州士兰明芯，武汉迪源、上海蓝宝、扬州中科等国内主流芯片公司进行了性能测试和氮化物LED芯片制作。经多家第三方检测的结果表明，用此48片MOCVD样机外延的氮化镓材料，其各项性能指标达到同类国际MOCVD设备产品的水平。

2012年3月10日，在广东省与中国科学院在北京举行的全面战略合作座谈会上，首台48片MOCVD样机研制成果向广东省委书记汪洋做了专项汇报，省长朱小丹，中科院院长白春礼等领导做了专门汇报，我所李晋闽研究员参加了汇报会。会上白春礼院长提到，近年来，中科院与广东省积极推进产学研合作，“MOCVD国产化”等重大科技项目合作取得重大突破，在基础研究和原始创新等方面实现了重大进展，打下了扎实的合作基础。中科院将加快推进院省全面战略合作，进一步支持广东区域创新体系建设，助推广东产业转型升级。会议期间，还举行了MOCVD装备成果与用户进行的应用合作签约，汪洋书记、白春礼院长等领导共同出席了签约仪式，我所曾一平研究员等参加了签约仪式。

48片MOCVD样机

广东省与中国科学院全面战略合作座谈会

MOCVD成果应用合作签约仪式