全固态千赫兹皮秒再生放大激光系统由于其效率高、单脉冲能量大、以及可靠性高等显著优点，成为微加工行业理想的加工工具，并在人造卫星激光测距、非线性频率变换、科学研究等众多领域得到越来越广泛的应用。

半导体所全固态光源实验室通过高功率皮秒种子激光器的研制，实现高效、高功率、高光束质量的皮秒种子激光输出；通过高功率、高脉冲能量皮秒激光再生放大器的研制，实现了皮秒激光再生放大系统的整机一体化。我们采用脉冲泵浦的方式，在Nd:YAG激光再生放大器中获得了平均功率大于1W，重复频率为1kHz，单脉冲能量大于1mJ，波长为1064nm的高能量皮秒脉冲输出。研制成功的皮秒激光再生放大器已经初步应用于黑硅材料加工实验。