12月9日，科技部办公厅、财政部办公厅联合发布了2021年中央级高校和科研院所等单位重大科研基础设施和大型科研仪器开放共享评价考核结果，半导体所在此次考核中获得“优秀”的评价结果，这也是我所连续第二年获评优秀。

科技部为推动国家重大科研基础设施和大型科研仪器的开放共享，充分释放服务潜能，提高使用效率，开展了大型科研仪器开放共享评价考核工作。考核指标主要包括管理机构设置、制度建设、开放共享信息化管理平台的建设、大型仪器设备的集约化率、大型仪器设备的使用机时、开放共享机时、开放共享率、服务收入和典型案例等。今年共有346家单位参加评价考核，其中前50个单位管理制度规范，科研仪器设备运行使用效率高，对外开放共享成效明显，考核结果为优秀。

半导体所历来重视公共技术平台的建设，并于2002年开始筹建，2004年建成并投入使用所级公共技术中心---“半导体集成技术工程研究中心”，对大型通用半导体工艺及测试设备进行集约化管理。目前该中心拥有1700多平米的超净工艺线，150余台套专业化科研设备，具备微纳电子学、光电子学及微电子机械器件的集成加工及测试表征能力。中心具有较完善的管理机制，拥有稳定的技术队伍，实行高度开放的共享机制，对研究所重大科研任务的实施起到了关键支撑作用，为院内外科研单位提供了技术支撑，在支撑科技前沿探索和服务国家重大战略需求等方面取得了良好成效。中心还是“中科院优秀所级公共技术中心”。

研究所将进一步贯彻落实《国务院关于国家重大科研基础设施和大型科研仪器向社会开放的意见》，加强科研设施与仪器建设和购置的统筹规划，加强所级公共技术中心建设，统筹科研设施与仪器运行和开放管理，建立高水平专业化的实验技术队伍建设，充分发挥科研仪器设备对科研活动的支撑作用，进一步提高科技资源开放共享水平。