个人简介

杨香，女，博士，高级工程师，2001年山西大学物理系获得材料物理学士学位。2009年获得中国科学院研究生院微电子学与固体电子学博士学位。同年进入中国科学院半导体所集成技术中心工作。先后获评2017年度“中国科学院关键技术人才”，2018年度“中国科学院院所两级公共技术服务中心优秀个人” 。

主要科研方向

（1）纳米结构电子器件及集成

（2）宽禁带半导体大功率器件

（3）半导体纳米结构制备与表征

主要学术成就

在纳米电子器件研制方面，作为项目负责人承担自然基金青年基金项目 “基于完全自对准结构的单电子晶体管研究”项目。在碳化硅功率器件研制方面，作为子课题负责人，先后承担包括北京市科委、国家电网科技部科技项目等多个项目的实施。作为课题骨干和课题联系人，参与重点研发计划“基于6 英寸碳化硅衬底的厚膜外延技术研究”实施。作为课题负责人，先后进行“高温扩散系统”和“基于特定波长滤光的接触式曝光机”功能开发，为设备功能的提升及更好的为科研工作服务提供了有效的技术支撑。

 个人联系方式（邮箱、电话等）

Email：xyang@semi.ac.cn，电话：010-82305403