| 成果编号: | |
| 成果名称: | |
| 获奖名称: | 电子级气体SJ2794~2797-87电子级气体中颗粒和痕量杂质测定方法SJ2798~2804.1-87 SJ2805~2807-87 |
| 获奖类别: | 机电部科技进步奖 |
| 获奖等级: | 二等奖 |
| 授奖部门: | |
| 获奖时间: | 1989年 |
| 主要完成人: | 尹恩华等 |
| 登记人: | |
| 开始日期: | 1989年 |
| 结束日期: | |
| 完成单位: | 中国科学院半导体研究所等 |
| 成果介绍: |
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