成果编号:
成果名称:
获奖名称: 离子色谱在半导体工业中的应用
获奖类别: 中科院科技进步奖
获奖等级: 三等奖
授奖部门: 中国科学院
获奖时间: 1988年
主要完成人: 闻瑞梅 李希云 付仲华 刘秀庆
登记人:
开始日期: 1988年
结束日期:
完成单位: 中国科学院半导体研究所
成果介绍: