成果编号: | |
成果名称: | |
获奖名称: | 离子色谱在半导体工业中的应用 |
获奖类别: | 中科院科技进步奖 |
获奖等级: | 三等奖 |
授奖部门: | 中国科学院 |
获奖时间: | 1988年 |
主要完成人: | 闻瑞梅 李希云 付仲华 刘秀庆 |
登记人: | |
开始日期: | 1988年 |
结束日期: | |
完成单位: | 中国科学院半导体研究所 |
成果介绍: |
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