获奖名称: 八种气体中28种杂质全分析技术及质量监控
获奖类别: 中科院科技进步奖
获奖等级: 一等奖
授奖部门: 中国科学院
获奖时间: 1990年
主要完成人: 闻瑞梅 李希云 王铁龄 王桂英
开始日期: 1990年
完成单位: 中科院半导体研究所