| 成果编号: | |
| 成果名称: | |
| 获奖名称: | 电子级气体N2、H2、O2、Ar、He、HCl、CO2、NH3 28种杂质 分析技术及质量监控 |
| 获奖类别: | 国家科学技术进步奖 |
| 获奖等级: | 三等奖 |
| 授奖部门: | 国务院 |
| 获奖时间: | 1991年 |
| 主要完成人: | 闻瑞梅 李希云 王铁龄 王桂英 |
| 登记人: | |
| 开始日期: | 1991年 |
| 结束日期: | |
| 完成单位: | 中科院半导体研究所 |
| 成果介绍: |
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