| 成果编号: | |
| 成果名称: | |
| 获奖名称: | 电子工业用气体--硅烷 GB/T 15909--1995 |
| 获奖类别: | 化学工业部科技进步奖 |
| 获奖等级: | 三等奖 |
| 授奖部门: | 化学工业部 |
| 获奖时间: | 1997年 |
| 主要完成人: | 余京松 何道善 佘中玉 姚奎鸿 |
| 登记人: | |
| 开始日期: | |
| 结束日期: | |
| 完成单位: | 化工部西南化工研究院、浙江大学、半导体所 |
| 成果介绍: |
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